根据本公开的一实施例，公开了一种基板处理装置。所述基板处理装置可包括：上部腔室，用于执行针对基板的等离子体处理；下部腔室，用于执行针对所述基板的热处理；微波热处理器，用于产生微波至所述下部腔室内，从而向所述基板传递热量；以及载台，支撑基...