OMG电子化学有限责任公司专利技术

OMG电子化学有限责任公司共有2项专利

  • 本发明总体上涉及镀铜溶液及其制造和使用方法。具体而言,本发明包括含有铜离子源和导电盐的镀铜溶液,其中所述镀铜溶液由于基本上不含氯离子而具有1.7~3.5的pH。
  • 本方法和装置涉及使用离子交换树脂和可选的pH值调节剂处理分散浴,并且其中离子交换树脂和可选的pH值调节剂使pH值维持在分散浴起始pH值的+/-2以内。
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