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抗反射用硬掩模组合物制造技术

提供一种抗反射硬掩模组合物，包含(a)由以下述化学式1表示的聚合物或包含其的聚合物混合物(blend)；及(b)有机溶剂，[化学式1]

最后更新日期：2020-07-29 05:31 访问量：37