本发明涉及一种产生等离子体的方法，等离子体在适于进行等离子体处理的装置的真空容器（１）的真空室（１ａ）中被至少共产生，该装置具有至少一个通有交流电的感应线圈（２），其中用于产生等离子体的气体经由至少一个入口（３）充入真空室（１ａ）中，真...

本发明涉及一种借助于溅射工艺制备特别的固有电压优化涂层，特别是制备低拉伸应力涂层的方法或设备，其中在靶子（阴极）上形成双极电压形状。在靶面上调节正电压脉冲，从而代替基体上的偏压。