本申请提供一种研磨垫修整装置、修整器及其表面涂层的处理方法，属于化学机械抛光技术领域。该处理方法包括：提供修整器的基体，基体具有固结层，对固结层进行预处理；固结层上固结有硬质颗粒，对涂覆于硬质颗粒和固结层表面的涂层材料进行准备；在硬质颗...