本申请实施例提供一种研磨垫修整盘及其制备方法、研磨垫修整装置，该研磨垫修整盘的制备方法包括：采用固定件将硬质颗粒固定于烧结材料上，得到待烧结体；将所述待烧结体置于基体上进行烧结处理，得到所述研磨垫修整盘；所述固定件包括若干个贯穿孔；所述...

本发明属于晶圆制造技术领域，涉及一种PVA滚刷的清洗方法，包括依次进行的预清洗、多模块协同清洗和后处理；其中，所述多模块协同清洗包括依次进行的超声清洗、化学浸泡和喷淋冲洗，且所述喷淋冲洗的方式为水流从滚刷内杆向外冲洗。本发明提供的清洗方...