本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体是一种具有均匀导热结构的半导体工艺加热器，包括设备机架、半导体基板、设备主机和基座模块。设备主机上设置有均匀加热器，其位于半导体基板下方并包含多个串联的加热单元，各单元设有单元基座和加热传感器。设备...

本发明涉及晶圆加工领域，具体是一种晶圆加工用清洗机，包括安装框架，还包括：清洗箱，清洗箱侧壁上开设有滑动凹口；兆声清洗机构，兆声清洗机构包括加液管，加液管上设置清洗管，清洗管与兆声清洗头连接；还包括往复驱动组件，往复驱动组件置于清洗箱上...

本发明涉及精密加工用工件辅助夹紧装置技术领域，具体为一种卡盘夹具的精加工辅助夹紧装置，包括：固定底座和辅助架，所述辅助架的内部设置有环形调节槽，且环形调节槽的内部活动设置有夹紧单元；所述固定底座顶部的两侧设置有吸尘组件，且固定底座的内部...