本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体是一种晶圆支撑结构及晶圆清洗装置，所述晶圆支撑结构，包括支撑基础架与方位调节机组。支撑基础架借助若干按晶圆形状排布的安装座，安装单组支撑件以共同支撑晶圆。单组支撑件由支撑主筒、组装部和驱动部构成，支撑主筒...