一种功率产生器，其具有第一多个功率放大器，每个功率放大器被配置为接收第一公共供应电压并输出多个离散直流电压。多个离散直流电压中的至少一个离散直流电压可以透过改变第一公共供应电压来改变。此射频功率产生器还可以包括第二多个功率放大器，其接收...

一种用于产生器的控制器，所述控制器包括前馈控制模块。所述前馈控制模块经组态以产生调整曲线，以根据所要输出信号来控制产生器的参数。所述前馈控制模块根据所述输出信号的子区域来产生多个调整值。每一子区域包括所要输出信号的一部分。

本发明提供一种质量流量控制器及一种提供质量流量控制的方法。一种质量流量控制器包括控制阀，该控制阀配置成控制在流动路径中流体的流量。第一流量感测器侦测第一组流体流量参数，且第二流量感测器侦测第二组流体流量参数。该第一流量感测器及该第二流量...

射频(RF)发电系统包含产生输送到负载的RF输出信号的RF电源。RF功率控制器经配置以产生用以改变所述RF输出信号的控制信号。所述控制器调整与所述RF输出信号相关联的参数，且所述参数根据触发信号来控制。所述参数在预定数目的仓内调整。所述...

具有固定功率产生部分的RF功率产生器。固定功率产生部分包括各自被配置为接收供应电压并且输出相应的第一电压的第一多个功率放大器。RF功率产生器还包括包含多个加权功率放大器模组的加权功率产生部分。每个加权功率放大器模组包括加权功率放大器和相...

本发明提供了压力控制方法及装置。一种压力控制器包括：控制阀，所述控制阀被配置成控制流动路径中的流体的压力；流量限制器，所述流量限制器设置在流动路径中；以及远端压力感测器和近端压力感测器。远端压力感测器在远离控制阀的位置处检测流量限制器处...

一种RF功率生成系统包含：电源，其经配置以生成施加到负载的周期性波形；以及控制器，其经配置以接收指示施加到所述负载的电极的相应电压和电流的电压信号或电流信号中的至少一个。所述控制器根据所述电压信号或所述电流信号中的所述至少一个和所述电极...

本发明提供一种光学气体浓度感测器，其包括：一样本胞元，其包含一入口通口及一出口通口，其中一气体可流经该入口通口及该出口通口；一光源，其经组态以将光发射至该样本胞元的一内部中；一光侦测器，其配置于该样本胞元外部；及一光波导总成，其将该样本...