本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种用于半导体设备的机械手：包括旋转基座、高度调节支撑臂、大臂总成、小臂总成、末端执行器和转运机构，通过推动把手和转运万向轮的设置，可在需要对生产线的结构进行调节时，便于完成对整个机械手的位置的...