本发明的臭氧气体供给系统(1)具备臭氧气体供给装置(2)、气体引入管线(3)和质量流量控制器MFC1。臭氧气体供给装置(2)能够通过在臭氧发生器(32)中得到的臭氧气体的低温分馏来生成和供给臭氧浓度为80体积％以上的臭氧气体。气体引入管...