本发明提供一种晶圆研磨设备的主轴倾角调整结构，包括：主轴座；主轴单元，具有法兰连接于本体的外环周面；及多个倾角调整组，各倾角调整组具有多个结合组件及微调器，该多个结合组件结合该法兰与该主轴座，该微调器具有座体、调整件及连动件，该座体具有...