本发明公开了基于人工智能的工业自动控制系统及方法，涉及控制技术领域，本发明包括数据获取模块、掺杂规划模块、掺杂控制模块、预警终端和数据库，根据半导体的用途和晶格结构，以及历史各次掺杂时半导体的各信息，获取掺杂时所使用的离子液、离子注入机...