本发明公开了一种用于MEMS传感器的防粘连阻挡组件，其包括支撑部件，其中所述支撑部件提供支撑；弹性部件，其中所述弹性部件的一端固定设置于支撑部件上；活动部件，其与弹性部件的另一端固定连接，其中所述活动部件上设置有至少一个阻挡块，阻挡块至...

本发明提供一种MEMS陀螺仪的解调相位校正方法，其包括：基于当前解调相位对放大后的感应混合信号进行有效信号解调得到角速度感应信号；基于当前解调相位对放大后的感应混合信号进行误差信号解调得到检测误差混合信号；基于所述检测误差混合信号得到当...

本发明提供一种双腔体的MEMS器件及其制造方法，其包括：MEMS半导体部；与所述MEMS半导体部键合在一起的盖板；第一腔体，其位于所述MEMS半导体部和所述盖板之间，其中基于第一腔体形成有第一MEMS传感器；第二腔体，其位于所述MEMS...