一种用于对表面在相对于所述表面成一角度的轴向方向上的偏移的进行光学测量的系统和方法。所述光学系统包括激光源和检测器。沿着所述轴向方向从所述光学系统的所述激光源向所述表面发射相干光的激光束，与此同时所述表面相对于所发射的激光束在横向方向上...