本发明公开了基于全干法工艺的硅基太阳能电池制造方法及电池器件，该方法为采用干式绒面形成方法在硅晶片正面形成绒面；采用干式发射极形成方法在绒面上形成pn结的发射极层；采用干式氧化硅形成方法在硅晶片的背面形成氧化硅隧穿层；采用干式多晶硅形成...

本发明公开了基于分离干湿法工艺的硅基太阳能电池制造方法及电池，该方法为在湿法工厂采用湿化学制作绒面的方法在硅晶片正面形成绒面；在干法工厂采用干式发射极形成方法在绒面上形成pn结的发射极层；采用干式氧化硅形成方法在硅晶片的背面形成氧化硅隧...