马森科技股份有限公司专利技术

马森科技股份有限公司共有9项专利

  • 一种晶圆传输装置,供承载一晶圆,包括有一本体、一壳体及一位移感测器,所述本体具有相连接的一柄部及一承载部,所述承载部供承载所述晶圆;所述壳体具有一容置空间,所述柄部设置于所述容置空间中,所述壳体供连接外部机具;所述位移感测器设置于所述壳...
  • 一种晶圆传输装置供承载一晶圆,包括有一本体以及三应变感测组件,所述本体具有相连接的一柄部及一承载部,所述承载部供承载所述晶圆,所述承载部具有二牙叉,所述二牙叉彼此间隔设置,所述本体具有相背对的一第一面及一第二面;所述三应变感测组件分别设...
  • 一种刀把受力显示方法,应用于一监控系统,所述监控系统包含一处理装置与一显示器,所述处理装置以无线的方式信号连接一刀把的一受力检测装置,所述受力检测装置感测所述刀把受力并产生一原始受力资料;所述处理装置依据所述原始受力资料绘制,以形成所述...
  • 一种受力检测装置定义有一中心轴线且包含一主体、二受力感测模块及一封装材料,所述主体呈圆柱形;所述主体的一外环面上凹入形成一环形容置槽;所述二受力感测模块设置于所述主体的环形容置槽且沿所述中心轴线相间隔;各所述受力感测模块包含多个受力感测...
  • 一种受力检测装置,定义有一中心轴线且包含一主体、一受力感测模块、一内筒、一电路板组件及一封装材料,所述主体的外环面上凹入形成一环形容置槽;所述受力感测模块包含多个受力感测单元,各所述受力感测单元包含二应变感测元件,所述二应变感测元件以所...
  • 一种晶圆传输装置,供承载一晶圆,包括有一本体、一壳体及一位移感测器,所述本体具有相连接的一柄部及一承载部,所述承载部供承载所述晶圆;所述壳体具有一容置空间,所述柄部设置于所述容置空间中,所述壳体供连接外部机具;所述位移感测器设置于所述壳...
  • 一种晶圆传输装置供承载一晶圆,包括有一本体以及三应变感测组件,所述本体具有相连接的一柄部及一承载部,所述承载部供承载所述晶圆,所述承载部具有二牙叉,所述二牙叉彼此间隔设置,所述本体具有相背对的一第一面及一第二面;所述三应变感测组件分别设...
  • 一种受力检测装置及刀把,包含一主体、二受力感测模块及一封装材料,所述主体呈圆柱形;所述主体的一外环面上凹入形成一环形容置槽;所述二受力感测模块设置于所述主体的环形容置槽且沿所述中心轴线相间隔;各所述受力感测模块包含多个受力感测单元,各所...
  • 一种受力检测装置及刀把,定义有一中心轴线且包含一主体、一受力感测模块、一内筒、一电路板组件及一封装材料,所述主体的外环面上凹入形成一环形容置槽;所述受力感测模块包含多个受力感测单元,各所述受力感测单元包含二应变感测元件,所述二应变感测元...
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