本技术公开了一种晶圆光刻设备，包括底板，所述底板顶部的后侧固定连接有背板，所述背板的顶部固定连接有顶板，所述底板顶部的左侧固定连接有定位座，所述底板顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒，所述顶板的表面开设有方槽。本技术通过电动伸缩杆的启动带动...

本技术公开了一种便于上料的半导体热板光刻设备，包括光刻机，所述光刻机的内部安装有换料台，所述换料台的表面固定连接有换料盒，所述换料盒有四个且均匀的分布在换料台的表面，驱动机构，驱动机构包括传动电机，所述传动电机的背面固定连接有固定板，所...