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刘毅楠专利技术
刘毅楠共有2项专利
陶瓷基片双面光刻工艺及结构制造技术
本发明公开了一种陶瓷基片双面光刻结构,该双面光刻结构包括一支撑框架,支撑框架的上端设有上掩模板,支撑框架的下端设有下掩模板,上掩模板的上方及下掩模板的下方各设有一曝光装置,上掩模板、下掩模板之间设有一陶瓷基片支撑架,陶瓷基片支撑架上设有...
陶瓷基片双面光刻结构制造技术
本实用新型公开了一种陶瓷基片双面光刻结构,该双面光刻结构包括一支撑框架,支撑框架的上端设有上掩模板,支撑框架的下端设有下掩模板,上掩模板的上方及下掩模板的下方各设有一曝光装置,上掩模板、下掩模板之间设有一陶瓷基片支撑架,陶瓷基片支撑架上...
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