联康沃源电子嘉善有限公司专利技术

联康沃源电子嘉善有限公司共有1项专利

  • 本申请涉及半导体制造设备技术领域,公开了一种晶圆切割道定位控制划切装置,包括外壳体,所述外壳体内设置有工作台,所述工作台上表面固定连接有XY移动平台以及Z轴移动单元,所述XY移动平台的驱动滑块上固定连接有水平转台,所述水平转台的转动盘上...
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