本申请提供了一种设有导流槽的衬底载体。衬底载体包括载体本体、凹穴、导流槽和匀气槽，载体本体内设有驱动气体输入通道；凹穴设于载体本体的承载表面，以用于承载衬底；导流槽设于凹穴的内底面，导流槽的起始端部连通驱动气体输入通道，以用于使驱动气体...