一用于执行高频加压摆动吸附工艺过程的旋转组件，包括一定子和一可转动地连接到定子上的转子。定子包括第一定子阀表面、第二定子阀表面、多个通入第一定子阀表面的第一功能腔以及多个通向第二定子阀表面的第二功能腔。转子包括与第一定子阀表面连通的第一...