KL技术株式会社专利技术

KL技术株式会社共有1项专利

  • 公开了一种基底清洁装置,其能够将基底相对于垂直轴线以预定的倾斜角度牢固地安装好后,通过上下移动刷子和超纯水喷嘴,以执行清洁处理去除附着在基底的上下表面的杂质。
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