科学视觉股份有限公司专利技术

科学视觉股份有限公司共有1项专利

  • 一种由工业化生产的晶体生产晶圆或圆盘的方法,所述的方法包括以下步骤:‑扫描晶体(1)的体积,形成晶体的3D体积数字模型;‑记录扫描过程中检测到的缺陷(4,4’)的3D空间坐标;‑测量由晶体的晶体结构提供的一个或多个晶体轴(C1、C2、C...
1