本发明的一实施例提供基板清洗装置及利用其的基板清洗方法，所述基板清洗装置包括：基板旋转模块，对用于进行清洗的基板进行支撑固定，并以虚拟的中心轴线为准使所述基板旋转；药液供给模块，具有用于向所述基板的上部面供给药液的上部药液供给部及用于向...