本技术公开了一种多室磁控多层光学镀膜设备，包括主容器，主容器设置有多个镀膜室，主容器包括工件转换室和输送线，进料侧和出料侧之间设置有输送线，进料侧和出料侧至少设置有一个预处理室，工件转换室的剩余四周设置有多个镀膜室，工件转换室中心设置有...

本发明公开了一种多室磁控多层光学镀膜设备及方法，包括主容器，主容器设置有多个镀膜室，主容器包括工件转换室和输送线，进料侧和出料侧之间设置有输送线，进料侧和出料侧至少设置有一个预处理室，工件转换室的剩余四周设置有多个镀膜室，工件转换室中心...