本发明涉及单晶硅片烘干加工技术领域，且公开了一种单晶硅片微波干燥设备，包括支撑架，所述支撑架的内部设置有烘干腔，所述料框的内部转动连接有料框，所述料框用于存储物料，所述热风机安装在支撑架的一端，所述热风机的上端安装有热风管，所述热风管的...