本发明公开了一种半导体清洗装置用药剂循环控制系统，涉及药剂循环控制系统领域。本发明通过采用可编程逻辑控制器连接控制相应电子元件、接收传感器信号根据预设逻辑和算法进行控制、补液与排液机构、安全与辅助机构、数据记录与追溯，实现了对半导体清洗...