用于输送和精确处理扁平物体的系统和方法，该系统和方法采用多个支撑件。所述系统包括：设置在一个或多个驱动单元（１２２）中的多个真空预载驱动轮（１２０），每个驱动单元（１２２）包括至少一个真空预载驱动轮（１２０）；位于每个真空预载驱动轮（１...

一种热处理系统，包括至少一个用于热处理物体的装置，该装置包括：至少一对基本相对的平台中的一个，其中至少一个平台，该平台具有至少一个加热机构，用于加热或冷却物体；和至少一个平台具有流体机械机构，用于非接触地支撑物体。该平台具有活动表面，该...

一种非接触地将静态或运动的基本平坦物体支撑在流体垫上的设备，物体漂浮在流体垫间隙上，该设备用于整体或局部调整该间隙，该设备包括：用于非接触地支撑物体的第一平台，该平台具有基本平坦的作用面，作用面上包含一个或多个区，每个区包含至少多个压力...

一种用于从待清洁物体表面清除污染物的设备，该设备（１０）连接至高压气源。该设备包括至少一个预设定微型尺寸的高压通道（２２），该高压通道（２２）用于加速气体。高压通道出口由两狭窄唇缘（１２）形成，其中出口和狭窄唇缘形成一有效作用面。当该有...