本发明提供了一种芳族缩合二元聚合物或三元聚合物化合物，其具有1,500至30,000的重均分子量，并且是通过杂芳族化合物、环戊酮衍生物和芳族化合物在酸催化剂条件下的缩合反应形成的。还提供了一种抗反射抗蚀剂底层膜组合物，其包含：(i)所述...