本发明涉及一种用于产生发射EUV辐射的等离子体的含Li靶材料。靶材料可以是具有至少一种其它元素的Li基组合物。作为示例，该其它的元素可以从包括Au、Ag、Bi、Ba、Sr的组中选择。该组合物被配置为与Li的密度相比增加靶材料的密度多次。...