提供了一种激光泵浦等离子体光源。该等离子体光源包括充填高压气体的腔室、等离子体点火装置、在所述强势中由连续波(CW)激光器的聚焦射束维持的辐射等离子体区域、和离开所述腔室的等离子体辐射射束。该腔室包括管道、底部和盖子。该管道的一端与该底...

一种辐射源包含集光器模块，所述集光器模块包括位于具有发射等离子体的真空室中的光学集光器，还包括用于碎片减缓的装置，所述装置包括至少两个外壳，所述外壳布置成输出无碎片的短波长辐射的同心束，所述光束到达光学集光器，优选地由几个相同的反射镜组...

本发明涉及具有连续光放电(COD)的等离子体光源。该光源包含带有辐射等离子体的区域的气体填充隔室，该辐射等离子体的区域通过CW激光器的聚焦束维持。隔室中的气体颗粒的密度小于90