揭示了一种生产光生伏打器件（例如太阳能电池）的方法，包括以下步骤：提供具有前主面和背面的基板；在所述背面上沉积电介质层，其中所述电介质层的厚度大于１００纳米；在所述电介质层上沉积包含氢化ＳｉＮ的钝化层；形成贯穿电介质层和钝化层的后触头。...