在外延片的背面施加金属应力可调薄膜结构，以补偿正面外延层产生的应力。该结构可包含多层，包括金属应力补偿层（“SCL”）、金属粘合层和/或钝化（或焊接）层。在其他实施例中，应力补偿结构仅包括金属应力补偿层。在第一个应用中，金属应力补偿结构...