IHP有限责任公司莱布尼茨高性能微电子研究所莱布尼茨创新微电子研究所专利

IHP有限责任公司莱布尼茨高性能微电子研究所莱布尼茨创新微电子研究所专利技术

IHP有限责任公司莱布尼茨高性能微电子研究所莱布尼茨创新微电子研究所共有1项专利

光电探测器和用于制造光电探测器的方法技术

本发明涉及一种用于探测电磁辐射的光电探测器。光电探测器包括横向光电二极管和SiN波导。横向光电二极管包括原位p掺杂接触区（112）、原位n掺杂接触区（114）以及沿横向堆叠方向（109）夹在p掺杂接触区和n掺杂接触区之间的本征掺杂光敏区...

最后更新日期：2025-04-29 19:01 访问量：30