可以通过低成本的设备高效地分离排出液中的硅粒，再用作单晶硅锭的制备原料。具有：从由硅锭加工装置排出的含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收装置（１２）；储存向硅粒中混合酸将杂质溶解而得到的溶解混合液的混合液罐（１）；经由供给通路（８）和返回通...