一种通过至少部分固体表面氧氟化进行活化的方法，所述方法包括，在选择的温度和压力条件下，使至少部分固体材料表面暴露于氧氟化气氛中一段选择的反应时间，所述气氛是气体／蒸汽混合物，该混合物包含至少一种与露出表面的材料反应的含氟气体，至少一种与...