本发明提供一种腔室内被处理对象的接触结构、静电吸盘及其制造方法。该接触结构包括：具有格子状的凹槽及被该凹槽环绕的突出结构排列。该接触结构容易利用掩模快速形成。细小的突出结构排列即使在长时间使用之后，也能保持比较均匀的接触比例，由此抑制发...