一种利用等离子体装置来清除涂布在玻璃衬底上的有机对准层并恢复衬底的方法，其中所述等离子体装置通过加载到电极上的高频电源而产生等离子体，该方法包括下述步骤：将其上涂布了有机对准层的玻璃衬底送入所述等离子体装置的反应室内；将所述反应室内的压...

公开的是一种利用等离子体设备选择性地去除涂覆在负型光致抗蚀剂（其涂覆于玻璃衬底上）上的聚酰亚胺有机配向层并且再利用所述玻璃衬底的方法，所述等离子体设备具有反应腔室，用来通过提供至电极的高频功率来产生等离子体，所述方法包括以下步骤：将涂覆...