本发明公开了离子束铣削或机械加工的方法、装置、系统和软件。该装置包括一个试样支架、一个工作台、一个或多个离子源、可旋转离子光学装置和成像装置。试样夹具被配置为在一个固定的位置，在铣削或加工夹持试样。该工作台被配置为能够在三个正交的线性方...