本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种锁紧装置及真空腔室，该锁紧装置包括固定支座、锁杆、第一电力驱动组件、活动支座、压紧块和第二电力驱动组件，锁杆活动连接于固定支座；第一电力驱动组件安装于固定支座，且传动连接于锁杆；活动支座固设于锁杆；...

本发明涉及晶圆键合设备技术领域，具体而言，涉及一种偏转机构及晶圆键合设备。偏转机构包括旋转驱动器、拨离结构和密封结构，旋转驱动器具有旋转输出轴；拨离结构的一端设有拨指，另一端设有拨座，拨指能够伸入至真空腔室，拨座传动连接于旋转输出轴；密...

本技术涉及转台设备技术领域，具体而言，涉及一种气浮转台及晶圆检测设备。气浮转台包括：转台组件，包括转台驱动机构和转台动子，转台驱动机构与转台动子连接，用于驱动转台动子绕转动轴线转动；位移组件，包括位移驱动机构和位移动子，位移驱动机构与位...

本技术提供了一种运动平台，涉及半导体制造设备技术领域，为解决现有运动平台升降精度较低的问题而设计。该运动平台包括基座、升降驱动件、载台、多组导向机构以及多组重力平衡机构，升降驱动件安装于基座，载台安装于升降驱动件的升降输出端；导向机构包...

本技术提供了一种气浮升降平台和半导体加工设备，涉及半导体加工技术领域，以解决气浮升降平台的支撑刚度不易调节的问题。气浮升降平台，包括升降基础机构和升降移动机构，升降基础机构包括升降基座和气浮轴承，升降移动机构包括升降移动件，升降移动件以...

本技术提供了一种升降平台，涉及升降装置技术领域，为解决现有利用楔形块配合实现升降运动的升降平台，会出现沿第一楔形块滑动方向的位移，致使工件台运动精度降低的问题而设计。该升降平台包括底座、第一楔形块、第二楔形块、工件台和柔性铰链，第一楔形...

本技术提供了一种晶圆键合机，涉及半导体加工设备技术领域，为解决现有晶圆键合机使用电缸或者液压缸来提供压合力，压合力为一次性施加于晶圆对，导致压合精度较低的问题而设计。包括真空腔、位于真空腔外部的施压装置以及位于真空腔内部的压头，施压装置...

本技术提供一种冷却装置及半导体工艺设备，涉及半导体设备温控装置的技术领域。该半导体工艺设备，包括工艺腔室和上述的冷却装置，工艺腔室内设有加热盘，用于加热其下方的晶圆；冷却装置用于冷却加热盘，包括水冷盘，水冷盘设于工艺腔室内且位于加热盘的...

本技术涉及运动平台技术领域，具体而言，涉及一种位移旋转一体平台及晶圆检测设备。位移旋转一体平台包括壳体、位移驱动器、旋转驱动器和动子组件；壳体设有圆柱状的导向腔，动子组件与导向腔配合；导向腔的腔壁设有若干气孔，气孔用于与高压气源连接；位...

本技术提供一种倒挂式Z轴运动平台，涉及Z轴运动平台的技术领域。该倒挂式Z轴运动平台，包括基座、音圈电机和负载板，音圈电机倒置，且其定子固定设置于基座，其动子与负载板固定连接；Z轴运动平台还包括至少一个磁弹簧，磁弹簧包括相互吸引的固定部分...

本技术提供了一种龙门移动式运动台，涉及运动平台技术领域，为解决现有龙门移动式运动台的正交精度难以保证的问题而设计。该龙门移动式运动台包括第一固定梁、第二固定梁、运动横梁、正交横梁和正交工装，运动横梁滑动装配于第一固定梁和第二固定梁；正交...

本发明提供一种载架及加工装置，涉及半导体加工技术领域。该载架包括载梁和两个支架，支架设有Z向驱动件，Z向驱动件连接有连接座，连接座通过转动轴转动连接有转动座，转动轴沿Y向延伸；载梁沿X向延伸并连接于两个转动座之间，且载梁X向的至少一端作...

本技术提供一种直线电机驱动装置，涉及半导体和检测领域。该直线电机驱动装置，包括相对且间隔设置的固定板和活动板，两者之间设有直线电机，直线电机包括线圈组件和磁钢组件，线圈组件与固定板固定连接，磁钢组件与活动板固定连接，线圈组件能够驱动磁钢...

本技术提供一种气浮连接组件及气浮运动平台，涉及半导体加工技术领域。该气浮连接组件包括气浮垫、顶杆和连接件，其中，顶杆沿轴向包括限位杆段和连接杆段，限位杆段的外周壁围设有沿其周向延伸的环形凸台，连接杆段的外周壁设有用于连接运动组件的外螺纹...

本技术提供一种音圈电机驱动平台，涉及半导体制造设备领域。该平台包括基座、负载板和音圈电机，音圈电机磁钢部分固设于基座的容纳腔，线圈部分与负载板固接；该平台还设有限位组件，限位组件的第一安装座设有第一限位件、固设于基座且位于容纳腔开口所在...

本技术提供一种音圈电机驱动装置，涉及半导体制造设备领域。该装置包括基座、负载板和音圈电机，音圈电机磁钢部分固设于基座的容纳腔，音圈电机线圈部分与负载板固接；基座一侧设有容纳空间，由沿负载板运动方向间隔设置的两个安装板形成；该装置还包括限...

本技术提供了一种多工位部件夹持装置，涉及夹持装置技术领域，为解决现有用于对传感器进行夹紧的装置，只能对单一工位的传感器进行夹持，无法满足多工位传感器的夹持需求的问题而设计。包括基座和驱动机构，基座具有承载面，承载面设置有沿X向延伸的限位...

本技术提供了一种多工位传感器标定工作台，涉及标定设备技术领域，为解决现有的传感器标定工作台无法对多工位传感器进行光学系统标定的问题而设计。包括底座、激光干涉仪、夹持装置和镜片组件，激光干涉仪、镜片组件和夹持装置沿Y向排布；夹持装置设置有...

本技术提供了一种调节装置和精密机械，涉及半导体设备技术领域，以解决难以防止两个零件绕中心轴旋转的问题。调节装置，包括相对设置的调节基础件、待调节件，以及第一定位组件和第二定位组件；第一定位组件包括第一调节件和第一调节部，第一调节件能够相...

本技术提供一种Z轴运动平台，涉及运动平台领域。该运动平台，包括底座、负载板、音圈电机和第一连接板，负载板居中设有第一安装腔；音圈电机安装于底座的容纳空间，且定子与底座的底板固定连接，动子插设于第一安装腔内；第一连接板与负载板和动子的顶部...