本发明涉及机器视觉技术领域，揭露了一种利用AI视觉融合实现半导体晶元的缺陷检测方法及系统，包括：采集半导体晶元的多光谱图像，收集半导体晶元的产线环境参数；分别对多光谱图像与产线环境参数进行多模态数据预处理，得到多波段图像、偏振特征图及环...