本发明属于惰性气体净化回收技术领域，涉及一种氩气尾气除碳氧氢杂质装置及其处理方法，包括：依次连通的第一反应器、第二反应器和第三反应器；第一反应器的入口连接有氩气尾气输送管和氢气输送管；氢气输送管上设置有第一调节阀；第一分析仪连接在第一反...