本发明公开了一种热耦合反应精馏生产电子级硅烷的工艺及系统，本发明涉及电子级硅烷的生成技术领域，该系统主要包括反应精馏塔、压缩系统、硅烷粗馏塔、硅烷精制塔、硅烷吸附塔、溶剂回收塔、尾气处理系统及过滤干燥系统。工艺上，将四氟化硅气体与氢化铝...