技术方案：卡盘的防尘机构包括流体供给源、设置于卡盘内部的内部空间、以及设置于卡盘的排出空间。供给流体从流体供给源供给到内部空间并成为加压流体而经过内部空间。排出空间从内部空间向卡盘的外部排出加压流体。间从内部空间向卡盘的外部排出加压流体...

卡盘的爪的引导结构具有划分出与安装槽连通的引导空间的引导空间划分部以及设置于引导空间划分部的限制部。引导空间划分部具有将待抵接的爪在第一方向上限制为沿着安装槽的位置的抵接面。限制部将爪在不同于第一方向的第二方向上限制为沿着安装槽的位置。...

卡盘的爪的连结机构包括设置于卡爪座内的连结构件、第一弹性构件、作动部。连结构件能够在与爪连结的连结位置与从爪分离的分离位置之间移动。第一弹性构件向连结位置对连结构件进行施力。作动部使连结构件移动至分离位置。

卡盘的抓握精度确认方法包括：将测量对象物抓握于爪的抓握工序、移动工序和测量工序。在移动工序中，通过对移动体驱动部进行驱动，使设置有能对测量对象物的振动进行测量的测量器的移动体移动到测量器能对测量对象物的振动进行测量的位置。在测量工序中，...

在爪开闭构件与支承构件之间设置有密封部。密封部包括第一抵接部和第二抵接部，上述第一抵接部与爪开闭构件抵接，上述第二抵接部在与上述第一抵接部不同的位置处与爪开闭构件抵接。

卡盘的爪更换用手部构造成安装于搬运装置，并在设置于机床的卡盘的安装槽中装拆爪。该爪更换用手部包括：手部，上述手部能把持爪；以及柔性装置，上述柔性装置将手部安装到搬运装置，并允许搬运装置与手部之间的相对变位。

一种带导向机构(32)的无杆气缸，导向机构(32)具有：第1轨道部件(34)，其安装于缸体(2)的侧壁、形成有内侧滚动槽(34a)且由合金钢制成；第2轨道部件(36)，其安装于滑动件(27)的突出部(31)、形成有外侧滚动槽(36a)且...

一种磁式无杆缸(1)，其具备：外侧滚动槽(26)；内侧滚动槽(29)；筒体(32)；一对连结路(34)，将外侧滚动槽与内侧滚动槽之间、和筒体连结；引导机构，其具备多个钢球(36)，该多个钢球(36)能够在由外侧滚动槽与内侧滚动槽之间、筒...

本发明的环刷包括：刷片集合体及将刷片集合体安装于刷轴的环状部件。刷片集合体包括：由合成树脂材料制成的环状的刷基部及在环状部件的外周侧呈放射状延伸的线状的刷片。刷片粘接于刷基部，并由与刷基部相同的合成树脂材料形成。环状部件由从将刷片集合体...

一种路面清扫车，能利用简单的结构来实现尘埃回收装置的升降，并能抑制制造成本。本发明包括升降驱动元件(21)，该升降驱动元件(21)使一端与料斗(4)连接、另一端与尘埃回收装置(6)连接的提升臂(17)转动而升降。利用该升降驱动元件(21...

一种尘埃回收装置，即便在存在凹凸的路面上，也能无障碍地进行清扫作业。本发明的尘埃回收装置包括：主体框架；主刷，该主刷安装于主体框架，并将路面上的尘埃朝车辆前方扫起；尘埃搬运机构，该尘埃搬运机构将由主刷扫起的尘埃搬运至设于路面清扫车的料斗...

加工中心的遮挡板具有竖立在滑动座上的背面板和设于背面板的左右的侧面板，在遮挡板的背面板上设置能供主轴头及安装在主轴上的工具通过的开口部。在工具库的互为相邻的一组工具抓持部之间设有将开口部加以封闭的封闭板。在对被加工物进行加工时，用封闭装...

一种机床上的工具安装状态检测装置，这种机床具有在沿前后方向延伸的主轴的前端将工具夹紧或松开的牵引杆，该工具安装状态检测装置对工具在主轴上夹紧的夹紧状态、或松开的松开状态、或工具未安装在主轴上的工具未安装状态进行检测，其包括：由具有磁性的...

在无杆缸（１）中，在筒（２）的内孔（１０）的狭缝（１２）的内侧开口的两肋分别形成具有在狭缝（１２）的宽度方向延伸的宽度方向内面（６２）以及相对于宽度方向内面（６２）倾斜的壁面（６４）的带收容凹陷（６０）。在内密封带（４２）的一方的边缘接...

在尘埃回收装置中，将回转式输送机的上侧的旋转轴设置为能够上下移动，并且利用将相对于上侧的旋转轴的引导部件的位置维持为一定的连结机构连结上侧的旋转轴和引导部件，使引导部件与上侧的旋转轴的上下移动连动。从而，即便设置环状体的调节机构也不需要...

本发明公开了一种内层基板用曝光装置以及基板和掩膜的剥离方法，本发明所要解决的技术问题是，使基板能尽早且切实地从曝光掩膜剥离。本发明中，在曝光平台（１）和上框（２）这两者上，设置进行突出动作，将基板（１０）的一端向从曝光掩膜（１１）剥下的...

刷式路面清扫车的仓斗移动装置。将仓斗（１６）可通过提升臂（２２）在底盘上的尘埃回收位置与能够将尘埃排出的尘埃排出位置（Ｂ）之间移动地设置。在设在提升臂（２２）的基端上的第１链轮（２９）与和仓斗（１６）一体地设在提升臂（２２）的仓斗（１６...

一种用于夹持形成印刷线路板的面板２５的竖直的校正工作台机构２１，该机构具有竖直的支承壁４３，和与支承壁４３前表面相面对的竖直设置的校正工作台３３，该工作台的窗口上设有曝光板２３。该校正工作台借助多个工作台支承部件３５支承在支承壁４３上并...

一种双侧曝光系统（１），其包括第１作业保持装置（２１Ｌ），该装置用于保持与曝光掩模（５５）相对的基板（Ｐ），以便通过该曝光掩模（５５）对基板（Ｐ）的第１表面进行曝光；第２作业保持装置（２１Ｒ），其用于保持与另一曝光掩模（５５）相对的该基...

在一个无杆缸体装置中，一个内移动部件（７）可移动地插入一个缸体（２）中，而一个外移动部件（９）可移动地插在缸体上，该内移动部件和外移动部件被磁连接。在内移动部件（７）的两对置端有内滑动导向环（８），而内磁装置（５Ａ）配置于其间。一个密封...