范佳晖专利技术

范佳晖共有1项专利

  • 本发明公开了一种支持耐高温且抗辐射的压力传感器芯片制备方法及该方法所得的芯片,利用注入工艺使该区域硅的电阻率达到设计需要的数值后,再对电桥电阻周围的氧化层进行光刻使电阻形成的电桥裸露出来,再通化学腐蚀使电桥电阻成为孤岛,再对二氧化硅层上...
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