EUV实验室有限公司专利技术

EUV实验室有限公司共有1项专利

  • X射线束在电子束和靶的相互作用区中产生,该区是旋转阳极组件的环形通道中的熔融可熔金属的环形层。通道具有防止熔融金属在径向方向上和在沿旋转轴线的两个方向上倾斜的表面轮廓。液态金属靶由于作用在其上的离心力而形成圆柱形表面。靶的线速度优选高于...
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