本发明涉及具有混合脉冲扫描器的激光照射装置，其用于在真空板中加工出具有改进的圆度、圆柱度和内表面粗糙度的超微孔。具有混合脉冲扫描器的激光照射装置包括：激光振荡器，用于发射飞秒激光和纳秒激光；光学部分，用于转换激光束的路径；以及混合脉冲扫...

本发明涉及一种利用超短脉冲激光、特别是飞秒激光来加工微孔的方法，包括如下步骤：沿上模的厚度方向设定n个断层，n为2以上的自然数，在断层的表面以规定的图案照射飞秒激光，以到下一个断层为止的厚度对孔进行二维加工，沿Z轴方向将所述飞秒激光的焦...

本发明涉及在利用飞秒脉冲激光使大面积平面加工物整平后执行改善表面粗糙度的抛光的装置，位置固定部具有供被加工物安置在其上以对被加工物的表面进行加工的台、在台上固定被加工物的固定夹具、及使台在X轴、Y轴上移动的移动装置，表面形状测量部对限定...

本发明涉及使用飞秒激光的超精密刀刃加工方法，该方法的特征在于，包括：使用打磨轮对刀刃部进行一次打磨；以及沿着经打磨的所述刀刃部的长度方向照射飞秒激光以对所述刀刃部的至少一部分进行二次打磨，所述二次打磨的步骤包括：使所述飞秒激光振荡；使所...

本发明涉及一种使为了制作MLCC而层叠的超薄膜片的层叠阵列均一地形成的MLCC层叠用上模，其构成为包括：真空头，其由多个基孔、第一区域以及第二区域构成，其中，多个基孔与形成于上表面的空气流路连通，第一区域通过以连通方式连接下表面和上述各...