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二维新材料深圳有限公司专利技术
二维新材料深圳有限公司共有1项专利
一种二碲化钨薄膜的制备方法技术
本发明公开一种二碲化钨薄膜的制备方法,包括下列步骤:步骤一:基底清洗:将基底依次经过去离子水、丙酮、乙醇、去离子水的超声清洗后,使用氮气枪将基底吹干备用;步骤二:在基底上使用磁控溅射方式镀一层厚度小于50nm的钨金属层;步骤三:在钨金属...
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