本发明公开一种判断特别是模塑成型晶圆的碟形工件的变形量的方法和装置。所述装置包含：一可旋转的、高度以及横向可调整的安装单元(5、5a、15a-c；5、5a、15d)，用来安装所述碟形工件(3)的一内部区域(IB)；一判断单元(25)，用...